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擴散矽壓力傳感器工作原理(lǐ)與其優越性

發布時(shí)間:2013-4-18 8:45:04

擴散矽壓力傳感器被測介質的(de)壓力直接作用(yòng)于傳感器的(de)膜片上(不鏽鋼或陶瓷),使膜片産生與介質壓力成正比的(de)微位移,使傳感器的(de)電阻值發生變化(huà),用(yòng)電子線路檢測這(zhè)一變化(huà),并轉換輸…一個(gè)對(duì)應于這(zhè)一壓力的(de)标準測量信号。藍寶石壓力傳感器利用(yòng)應變電阻式丁作原理(lǐ),采用(yòng)矽一藍寶石作爲半導體敏感元件,具有無與倫比的(de)計量特性。

藍寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會發生滞後、疲勞和(hé)蠕變現象;藍寶石比矽更堅固,硬度更高(gāo),不怕形變;藍寶石有著(zhe)非常好的(de)彈性和(hé)絕緣特性,因此,利用(yòng)矽.藍寶石制造的(de)半導體敏感元件,對(duì)溫度變化(huà)不敏感,即使在高(gāo)溫條件下(xià),也(yě)有著(zhe)很好的(de)工作特性;藍寶石的(de)抗輻射特性極強;另外,矽.藍寶石半導體敏感元件,無p—n漂移,因此,從根本上簡化(huà)了(le)制造工藝,提高(gāo)了(le)重複性,确保了(le)高(gāo)成品率。

擴散矽壓力傳感器,用(yòng)矽.藍寶石半導體敏感元件制造的(de)壓力傳感器和(hé)變送器,可(kě)在最惡劣的(de)工作條件下(xià)正常工作,并且可(kě)靠性高(gāo)、精度好、溫度誤差極小、性價比高(gāo)。

表壓壓力傳感器和(hé)變送器由雙膜片構成:钛合金測量膜片和(hé)钛合金接收膜片。印刷有異質外延性應變靈敏電橋電路的(de)藍寶石薄片,被焊接在钛合金測量膜片上。被測壓力傳送到接收膜片上(接收膜片與測量膜片之間用(yòng)拉杆堅固地連接在一起)。在壓力的(de)作用(yòng)下(xià),钛合金接收膜片産生形變,該形變被矽一藍寶石敏感元件感知後,其電橋輸出會發生變化(huà),變化(huà)的(de)幅度與被測壓力成正比。

傳感器的(de)電路能夠保證應變電橋電路的(de)供電,并将應變電橋的(de)失衡信号轉換爲統一的(de)電信号輸出(4~20mA或0~5V)。在絕壓壓力傳感器和(hé)變送器中,藍寶石薄片與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起,起到了(le)彈性元件的(de)作用(yòng),将被測壓力轉換爲應變片形變,從而達到壓力測量的(de)目的(de)。本文來(lái)源:/

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